擴(kuò)散泵主要泵體、擴(kuò)散噴嘴、蒸汽導(dǎo)管、油鍋、加熱器、擴(kuò)散器、冷卻系統(tǒng)和噴射噴嘴等部分組成（見圖）。當(dāng)油擴(kuò)散泵用前級泵預(yù)抽到低于1帕真空時(shí)，油鍋可開始加熱，沸騰時(shí)噴嘴噴出高速的蒸汽流，熱運(yùn)動的氣體分子擴(kuò)散到蒸汽流中，與定向運(yùn)動的油蒸汽分子碰撞，氣體分子因此而獲得動力量，產(chǎn)生和油蒸汽分子運(yùn)動方向相同的定向流動，到前級，油蒸汽被冷凝，釋出氣體分子，即被前級泵抽走而達(dá)到抽氣目的。泵油的蒸氣壓直接影響泵的真空性能，但油擴(kuò)散泵所使用的任何泵油，都是蒸汽壓不同的多組分的混合物。因此，要提高油擴(kuò)散泵的抽氣和真空性能，泵在工作中自身還要對泵油進(jìn)行分餾和凈化。分餾目的是使高蒸汽壓組分的油不進(jìn)入高真空工作噴嘴（高真空端的噴嘴）；凈化的是使高蒸汽壓組分的油在工作過程中不斷為前級泵所抽除、使油逐漸于純凈。