新型提供一種用電磁爐作加熱的擴散泵,主包括已除加熱爐的擴散泵、電磁爐、固定板、爐罩、爐底板和平面支撐架,電磁爐設(shè)置在平面支撐架上,電磁爐及平面支撐架均位于爐罩中;爐罩的下表面通過螺釘與爐底板固定連接,所述的爐底板的中心具有螺孔,穿過該螺孔將升降螺桿安裝在爐底板上,升降螺桿的頂部鏈接在平面支撐架的底部,固定板的中心具有通孔。擴散泵的泵底套在固定板的通孔中,該用電磁爐做加熱器的擴熱泵具有升溫快、熱效率高、消耗電能低、使用壽命長等優(yōu)點。且該擴散泵的啟動和關(guān)閉工作時間短,安全性高,功率可控制調(diào)節(jié),能夠穩(wěn)定擴散泵抽氣速度,提高擴散泵的工作效率。
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